自1895年伦琴发现X射线以来，X射线及相关技术的研究和应用取得了丰硕成果。其中，1910年特征X射线光谱的发现，为X射线光谱学的建立奠定了基础；20世纪50年代商用X射线发射与荧光光谱仪的问世，使得X射线光谱学技术进入了实用阶段；60年代能量色散型X射线光谱仪的出现，促进了X射线光谱学仪器的迅速发展，并使现场和原位X射线光谱分析成为可能。后来又出现了全反射和同步辐射X射线荧光光谱仪、粒子激发X射线光谱仪、微区X射线荧光光谱仪等。根据分辨X射线的方式，X射线光谱仪通常分为两大类，即波长色散（WDXRF）和能量色散（EDXRF）X射线荧光光谱仪。

　　射线荧光光谱分析技术目前已在地质、冶金、材料、环境等无机分析领域得到了广泛的应用，是各种无机材料中主组分分析最重要的技术手段之一，各种与X射线荧光光谱相关的分析技术，如同步辐射XRF、全反射XRF光谱技术等，在痕量和超痕量分析中发挥着要的作用。