近日,由成都太科光电技术有限责任公司承担的国家重点研发计划重大科学仪器设备开发项目“超光滑表面无损检测仪”在成都高新区启动。该项目将通过专项带动,集成国内优势力量重点创新,解决高精度超光滑表面无损检测的关键技术瓶颈,实现高端超光滑表面无损检测仪器国产化,打破国外技术垄断。

  据了解,“超光滑表面无损检测仪”是国家“十三五”重点研发计划重大科学仪器设备开发项目,获得科技部2000万元、成都高新区200万元资金支持,由企业牵头,协同国内多家技术实力雄厚的大学、研究所和企业形成产、学、研、用相结合的项目团队共同实施,主要用于高精度非接触测量,可广泛应用于高速集成电路、微电子集成电路等基片弯曲度、表面质量等关键参数的快速检测。