铂悦仪器中标宁波材料所等离子汽相沉积设备

2011-5-10 09:25 来源: 铂悦仪器(上海)有限公司
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铂悦仪器中标中科院宁波材料所PECVD单腔体及多腔体等离子汽相沉积设备两套

  宁波材料所位于宁波市高教园区北区,是中国科学院在浙江省建立的首家国立研究机构,建立新所旨在实施新时期中科院办院方针、加强国家创新体系中各单元协作、推进知识创新工程第三阶段工作,及全面落实科学发展观、加速区域创新体系建设、大幅提升自主创新能力;同时,以制造业和材料产业的发展需求为导向,以材料科技进步为牵引,瞄准世界前沿,面向全国需求,立足宁波、服务浙江、辐射“长三角”。

  PECVD是借助微博或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,具有基本温度低;沉积速率快;成膜质量好,针孔较少,不易龟裂等优点。

  同时我们铂悦公司还提供台阶仪、光学轮廓仪、AFM、椭偏仪、QE/IV测试仪、直读光谱仪、合金分析仪、拉曼光谱仪、三坐标、影像测量仪等。