本次讲习班免费面向国内从事纳米科技的研究者，吸引了来自全国60多个科研院所和高等院校的300余名科研人员和研究生参加。其中包括了中国科学院系统的物理所、化学研究所、半导体研究所、微电子研究所、国家纳米中心、理化技术研究所、力学研究所、生物物理研究所、苏州纳米技术与纳米仿生研究所、长春光学经精密机械与物理研究所和上海微系统研究所等20多个研究所和中国科技大学；高校系统的北京大学、清华大学、南京大学、复旦大学、南开大学、中山大学、吉林大学、厦门大学、浙江大学等30多所高校。讲习班将微纳米加工技术基础知识讲授与前沿专题讲座和先进微加工设备介绍相结合，聘请了苏州纳米所“千人计划”研究员崔铮主讲，讲授关于微纳米尺度加工技术的基础知识和应用；同时邀请了西安交大卢秉恒院士、物理所李志远研究员、理化所段宣明研究员、物理所李俊杰主任工程师、杨海方和李无瑕副主任工程师就微纳米加工技术的发展与应用做了前沿专题讲座；最后组织160余名学员参观了物理所微加工实验室。