【求助】能谱定量有一定的误差

最新回复

• 大花猫bb (2015-1-11 14:21:46)

  能谱是半定量的测试手段 一般以定性为主
  误差很难避免 一般来讲11号至40号元素相对准确些 但是也要根据能谱厂家的性能以及测试状态

• qinqinai (2015-1-11 14:22:25)

  EDS的精度跟好多方面有关：
  1. 是SEM还是TEM测试
  2. 是薄样品还是块样
  3. 是轻元素还是重元素
  4. 是低含量还是高含量
  5. 有没有标样定标？
  6. 样品所在区域周围的环境，操作电压等
  如果都是最佳条件，那么0.5%的精度都能达到。如果都是最差条件，50%的误差也有可能。

• wwwh (2015-1-11 14:23:04)

  能谱定量，标样很重要，标样和样品的测试条件要一致，标样成分和样品越接近越好。
  元素之间的干扰问题，可以结合软件和专业的资料判断。

• zouyou (2015-1-11 14:23:40)

  不是很准确，有一定的误差，因为成分多少会有一些不均匀，成分偏析之类的，肉眼看不见的，所以要多打几个点，找自己想要的那个点