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西安光机所发明用于清洗不锈钢机械上水垢的酸液
目前，对单晶硅炉等精密机械的水垢清洗均采用单一的清洗液来进行，但由于上述机械结构较为复杂且包含了多种不同材质的零件，这样造成采用单一的清洗液清洗时无法彻底清除水垢，也可能导致部分材质被腐蚀。无法彻底清洗水垢会增加上述机械的使用成本。而腐蚀部分材质时可能产生巨大的安全隐患。
针对这一难题，中科院西安光学精密机械研究所瞬态室郭昭龙、赵卫、孙传东等科研人员通过研究发明了一种用于清洗不锈钢机械上水垢的酸液。该酸液解决了现有清洗液无法彻底清洗不锈钢物体上水垢或清洗时可能造成不锈钢机械中其他材质损坏的问题，主要用于单晶硅炉、板式散射器等精密机械的水垢清洗。
该发明已申请国家发明ZL并于近期获得授权，ZL号为“ZL201010574299.3”。
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