【求助】做扫描电镜时EDS元素峰重叠，

字体: 小中大 | 打印发表于: 2014-12-18 17:33 作者: xiaoxiaoai 来源: 分析测试百科网

一般做能谱时，取回的数据是已经分析好的图谱、元素浓度比例结果，可是因为能谱仪能量分辨率低，经常遇到峰位重叠的情形，比如Si Ka1 (1.740KeV)与Ta M(1.710KeV)，在谱线上根本分不出来

zouyou (2014-12-18 17:35:08)

可以用分峰拟合，针对轻元素可以采用EELS（电子能量损失谱）分辨效果较好呵呵，EELS是好东西，就是不好找地方做，也太贵
xiaoxiaoai (2014-12-18 17:36:00)

没有做过相关的工作，但是Ramman光谱以及部分吸收光谱中经常用到分峰拟合的分析方法
感觉这里应该也可以吧
zouyou (2014-12-18 17:36:36)

lz可以看看其他的峰，是否含有硅。如果不行，就做XPS和XRF，这是最直接的。
妮子@ (2014-12-18 17:37:08)

如果仅是看是否含有钽或是硅则可以用别的元素分析方法，比如ICP-OES。但是若想知道XPS谱峰相近元素的化合价则不太容易判定了
兔子 (2014-12-18 17:37:39)

已经做过XPS了，的确为Si，但做这个成本高呀！
zouyou (2014-12-18 17:38:22)

虽然可以用高斯函数拟合分离，但EDS本来的能量分辨率也就100多eV，而Si Ka1 为1.740KeV，Ta Ma1为1.710KeV，只差30eV，人为地把Si从Ta峰揪出来，到底有没有意义？(当然XPS已经确认含Si了)
妮子@ (2014-12-18 17:39:02)

如果有Ta的话，那么它在8.04，9.17，和1.33处也应该有峰吧。如果这几个地方都没有可以确定没有Ta。