尊敬的老师,您好!

   我们非常真诚的邀请您及您的科研团队参加将于2010年10月18日-10月19日在上海举行的第一届ALD学术交流会。

   这次大会是由芬兰PICOSUN公司和复旦大学主办,南京大学、中国科学院上海技术物理研究所、上海纳米技术及应用国家工程研究中心和我们北京正通远恒科技有限公司联合承办,旨在方便中国优秀科研工作者交流分享ALD技术的最新研究进展和相关领域的研究成果。

   报告人介绍

   这次会议我们非常荣幸得邀请到ALD技术方面很多资深的教授及研究者来做报告,简介如下:

   张卫教授:1995年6月毕业于西安交通大学,获博士学位。1995-1997年在复旦大学做博士后,1997年起任教于复旦大学,1999年晋升为教授。现任复旦大学微电子学系系主任、复旦-Novellus互连研究中心主任,“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”国家重大专项(02专项)总体组专家、上海市科学技术预见专家。在Applied Physics Letters、Journal of Applied Physics等国际期刊和会议上发表论文180多篇,申请ZL15项,合作出版学术著作1部。曾获得教育部二等奖。