为进一步的扩大和促进研究能力，美国中西部纳米电子研发中心(MIND)采购了牛津仪器公司等离子技术部的等离子蚀刻和沉积两套设备。该FlexALâ原子沉积(ALD)和System100
ICP等离子蚀刻设备将安装在Notre Dame的纳米加工设施里，位于美国印第安纳州Notre
Dame大学校园里工程学斯廷森-雷米克厅的9000平方英尺的无尘室。
FlexAL设备为工程纳米结构器件提高了灵活性和能力，其方法是通过提供一个包含远程等离子ALD制程和thermal
ALD的独立平台。System100
ICP等离子蚀刻设备的特点在于使用新的Cobra离子源，即：给用户提供了额外的等离子控制功能，从而为此先进工艺提供了更强的灵活性。
MIND是由半导体研究公司纳米电子学研究所
(NRI)主办的四个中心之一。MIND还与美国国家标准与技术研究所、Argonne国家实验室，国家强磁场实验室有着合作。