LEICA INM100自动芯片分析显微镜配备其配套的控制器、摄像头，软件，PRIOR纳米平台集成了整个Imaging System。
是对深亚微米工艺芯片进行连续性、大面积的微观图片信息采集的最佳工具。
使用方法：
① 将试样芯片置于直线刻度自动纳米平台上，试样芯片与电动平台之间的位置关系是相对固定的
② 设定显微镜的放大倍数，一边通过目镜观察，一边调节电动台控制器的操纵杆和转钮，使显微镜的物镜对准试样的某一微观区域（一般是试样的最边缘）
③ 试样芯片通过显微镜所成的像由CCD采集
④ CCD控制器将CCD所采集到的图片信息进行数/模之间的转换
⑤ CCD控制器处理过的信号在计算机的显示器上显示出来，在图像达到满意的效果之后，操纵拍摄控制软件，便将该图像保存在计算机中