LEICA INM100显微镜提供工艺芯片最佳自动拍照方案

2010-10-27 11:46 来源: 上海江文信息技术有限公司
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LEICA INM100芯片分析显微镜提供深亚微米工艺芯片最佳自动拍照方案

   LEICA INM100自动芯片分析显微镜配备其配套的控制器、摄像头,软件,PRIOR纳米平台集成了整个Imaging System。

   是对深亚微米工艺芯片进行连续性、大面积的微观图片信息采集的最佳工具。

   使用方法:

   ① 将试样芯片置于直线刻度自动纳米平台上,试样芯片与电动平台之间的位置关系是相对固定的

  ② 设定显微镜的放大倍数,一边通过目镜观察,一边调节电动台控制器的操纵杆和转钮,使显微镜的物镜对准试样的某一微观区域(一般是试样的最边缘)

  ③ 试样芯片通过显微镜所成的像由CCD采集

  ④ CCD控制器将CCD所采集到的图片信息进行数/模之间的转换

  ⑤ CCD控制器处理过的信号在计算机的显示器上显示出来,在图像达到满意的效果之后,操纵拍摄控制软件,便将该图像保存在计算机中

  ⑥ 第一张图像保存后,由于电动台控制器具有设定的程序,控制器会控制电动平台自动移动至下一相邻的微观区域(逐行或逐列,两微观区域共一边界),从而使计算机的显示器上呈现第二个微观区域的图像信息。由于处理过的芯片的表面并不平坦,且放大倍数较高,可能造成显示器上图像并不清晰,此时可以通过调节电动台控制器来调节显微镜的焦距,直至获取该微观区域清晰的图像。拍摄第三个微观区域…第四个…整个芯片拍摄完毕。

   最新版本的自动芯片拍照软件可以同时处理上万张照片的拍摄,自动拼接合成功能,并可以将上万张照片的合成照片显示在计算机屏幕上,解决了海量照片无法显示的难题。为全面深入地分析芯片提供了最佳的工具。

   上述使用方法转载自上海芯索芯片分析技术有限公司得网页。

   关于芯索:

  集成电路是国家重点扶持的高科技产业上海集成电路和设计业在全国居于前列。上海市科学技术委员会研发公共服务平台与上海圣景科技发展有限公司共同投资建立了“芯片分析技术服务”子平台,以进一步促进集成电路产业的科技创新。

   芯片分析技术服务平台依据“共同投入、企业运作、公共服务、自我发展”的原则,以独立的法人实体,按照企业方式运作。平台的收入、除了设备维护、平台运营、技术授权费等必要的支出,全部用于自身积累。平台在政府扶持下建立起来以后,通过自我积累来实现滚动发展和逐步壮大,为集成电路产业提供更全面的服务。

  平台的核心技术一方面来自圣景公司的技术转移,另一方面在设备供应商的支持下,和大学、研究所合作对设备进行定制,研发了相关控制系统和软件,用以满足国内芯片分析的高端技术服务需求,促进行业技术的进步和IC企业的竞争力。

  芯索公司和国际知名设备厂商合作,将新的设备介绍到国内并为其开发设备应用指南和适应于中国客户要求的解决方案,一方面帮助国内客户解决研发中遇到问题,另一方面帮助设备厂商的设备推广与销售。

  设备到位并完成技术升级和改造后,平台将在芯片分析领域达到国际领先水平。平台以优惠的价格提供国内集成电路产业和国防科技迫切需要的技术支撑,实现中小型芯片设计企业的跨越式发展、促进国防现代现代化建设。未来,平台将通过产、学、研结合,不断提升技术,满足集成电路产业进步的需要,实现对客户“分析无极限”的承诺!

  基于公共服务的基本要求,在芯索公司进行的所有的服务数据均在平台内进行共享,客户如果有特别的保密要求,芯索公司愿意进行技术转移服务,帮助其建立或提升内部实验室的技术水平。

  平台包括化学实验室、综合实验室和显微摄像室,采用10,000级净化设计,专门针对芯片分析应用,配备了Decapsulate,Polish,RIEUV-OM,FE-SEM,X-Ray,AFM等先进设备,并对设备进行了整合。