8月11日上午，受微系统所焦继伟研究员邀请，来自日本名古屋大学的Kazuo SATO教授，为职工和学生作了题为MEMS Technology Innovation Based on Micro/Nano Science的报告。

　　Kazuo SATO教授从1983年就开始致力于MEMS相关技术研究，主要研究领域为单晶硅刻蚀及其物理性能研究、以及传感器、执行器的微系统技术应用。Kazuo SATO教授已发表相关期刊论文115篇，会议论文170篇，出版相关书籍13章节。他曾参与主持IEEE MEMS-97,现任Micromechanics and Microengineering期刊亚洲区主编。

　　Kazuo SATO教授在MEMS领域的思路和见解，给在座的科研人员以很大的启发，拓宽了大家的研究思路，更进一步加深了对MEMS技术的认识。