最近，德国LEICA推出了新一代薄膜测厚仪DM-FTP以应对微电子，半导体产业的新高潮。该膜厚仪的先进性在于：

　　 最小光斑可达1微米

　　 既使用显微光谱反射法又能使用白光干涉法进行测量半导体薄膜厚度

　　 德国LEICA顶尖的光学显微镜系统

　　 自动建模和海量光谱数据

　　 德国LEICA DM-FTP 显微光谱薄膜测厚仪是对薄膜的反射光谱的干涉图样进行分析来进行膜厚测量，最小测量光斑可达1微米。该系统由德国LEICA INM100,INM200,INM300 DM4000M,DM6000M等显微镜和德国 SENTECH FTPADVANCE 膜厚测量模块组成，由于它的快速运算，使得它可高重复率进行膜厚的光学测量以及对膜的相关计算。另外，它的新型自动建模功能：可为待测的样品与光谱库里的数据快速的比较，来自动建模。是真正适合半导体，液晶等微电子行业进行在线膜厚检测新型高端仪器。