德祥:德国Thermconcept高温炉半导体行业应用

2011-4-11 11:30 来源: 德祥
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——石英玻璃析晶性能试验方法的最佳选择

  析晶性能试验对于天然水晶或天然高纯二氧化硅、硅卤化物等半导体行业的原料是必不可少的性能测试,马弗炉、中温炉、高温炉作为其检测分析的行业标准推荐设备而必不可少。

  半导体用透明石英玻璃管

  《石英玻璃析晶性能试验方法》

  A3试验设备

  A3.1电热干燥箱。

  A3.2立式高温二硅化钼电炉。

  A3.2.1电炉必须具有双层炉膛,内炉膛为高纯三氧化二铝材料制成,炉内样品上放有石英垫。

  A3.2.2电炉温度有P.I.D自动控制,精度为±1℃,24h内稳定在±2.5℃。炉温均匀,梯度不大于±10℃。

  A3.3测量显微镜:测量精度为5μm,放大倍数为100。

  德国Thermconcept公司总部设在德国不莱梅, 拥有丰富的研发、设计和生产的各种马弗炉和加热炉系统的经验,加热炉的温度范围从50℃到2000℃,能够满足半导体行业绝大多数用户的应用需求。

  HTL系列高温炉


  ·不锈钢外壳,防腐蚀

  ·双层箱式结构,外壳温度低

  ·高品质加热元件采用二硅化钼材料

  ·炉体隔热层由氧化铝陶瓷纤维制成,低热损失

  ·极佳的温度均匀性

  ·快速升温或降温

  ·手动平行门,避免与高温面接触

  ·半导体控制器,控温精度高

  ·采用长寿命B型热电偶

  ·后墙连有排气管

  ·配有Eurotherm 3208控制器:操作简单,控温精度高,1个完整升温程序,包括8个可编程独立升温段。

  HTK系列高温炉

  ·内衬、底部和前部都采用不锈钢材料, 耐腐蚀

  ·双层箱体结构,具有强制冷却功能,因而外壳温度非常低

  ·内衬、底部和前部都采用不锈钢材料

  ·排气管采用氧化铝材质(Ø 25/18 mm)

  ·采用特殊材料制成的绝缘内腔, 稳定性好,使用寿命长

  ·高品质加热元件MoSi2, 安装在内腔的两侧, 自由热辐射, 每个加热元件能够单独更换

  ·配有平行导向门, 容易装载样品, 且使操作者免受热侵害

  ·B型热电偶

  ·特殊的Labyrinth系统, 密封性极佳

  ·配有PID可编程程序控制器Eurotherm 3508, 可设定5个程序, 500个程序段, 5位字符显示屏, 操作简单, 控温精度不超过+/- 2 K

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