【求助】测试薄膜的XRD导致样品的峰被压得看不见了

最新回复

• malong (2016-4-02 15:05:44)

  看是什么基底了啊，一般用的硅片基底是特定晶面，没有峰。但是如果是氧化铝基底就会有。

• yayayu (2016-4-02 15:06:04)

  我的是硅衬底哇，在111方向的。。刚好在我样品峰的附近。。直接给压没了

• danzi (2016-4-02 15:06:28)

  硅片的衬底怎么会没峰呢？！！！！除非是非晶的衬底。

• rrra6 (2016-4-02 15:06:49)

  我觉得你可以利用软件对硅的峰处理一下，毕竟只是你薄膜的峰被压的很低。你在作图的时候把Y轴坐标范围选在你薄膜峰强的范围内就好了。

• 今生如此 (2016-4-02 15:07:15)

  你可以把薄膜挂下来

• 8899 (2016-4-02 15:07:37)

  做的是薄膜啊。。就在200nm左右，，不能太厚呢:tuzi17::tuzi17:

• yazi (2016-4-02 15:08:00)

  对啊，，硅衬底一般都有峰的

• xgy412 (2016-4-02 15:08:26)

  我用jade处理了，，但由于衬底峰和薄膜特征峰相距很近，所以效果还不是很好哇

• QQ爱 (2016-4-02 15:08:49)

  是不是你的薄膜太薄啊？我以前也遇到过这种情况，薄膜太薄，而且不致密，容易出现基板的峰

• 小熊妮妮 (2016-4-02 15:09:13)

  扫描的时候可以考虑使用掠入射扫描，应该可以减少基片的影响

• PP熊 (2016-4-02 15:09:33)

  那就不晓得了，我以前做的薄膜是20层的，五六百纳米的

• 小妖精@ (2016-4-02 15:09:59)

  你可以用XRD的小角衍射的方法，采用斜入射的方式，使得X射线在薄膜中穿过的比较长，穿透到达衬底的强度弱，从而使得衬底的衍射峰弱。

• dadaai (2016-4-02 15:10:19)

  你是用什么测的，测薄膜用了略入射没有，略入射的角度调整好薄膜的峰就会很强，相应会降低基底的衍射峰了！