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【求助】高真空二次电子分辨率

字体: 小 中 大 | 打印 发表于: 2015-7-29 17:02    作者: 兔子    来源: 分析测试百科网

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【求助】高真空二次电子分辨率
高真空二次电子分辨率：≤3.0nm@30kv是什么意思？
还有高真空模式下优于6×10-4 PA???    高手快出现:tiger28:
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最新回复

  • zouyou (2015-7-29 17:03:13)

    应该是在30KV加速电压下分辨率小于等于3nm
    第二个应该是说该设备可保持较高真空度吧

  • jishiben (2015-7-29 17:03:45)

    对于第二个参数，我认为应该是说，在高真空模式下，其观察室的真空度小于等于6×10-4 PA。像我们学校的那台场发射SEM，有常压模式，低真空模式和高真空模式，真空度依次降低…

  • zouyou (2015-7-29 17:04:14)

    30KV加速电压下分辨率小于等于3nm
    10-4也不算高的真空。。。超高真空能10-8Pa呢
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