6月14日下午，中国科学院微电子研究所与日本爱发科集团联合实验室签字仪式在中科院微电子所会议室举行。中科院微电子所所长叶甜春与爱发科集团代表取缔役执行役员社长小日向久治签署协议。

　　株式会社ULVAC是以在各领域获得广泛应用的真空技术为基础，以开创精细加工工艺为追求目标的研究开发综合企业。其产品从FPD，电子半导体，太阳电池作用的真空设备到标准零部件，材料及真空镀膜等业务。目前在中国已经设立了15家公司，未来在中国的投资还会不断扩大，在以电子技术和通讯技术为首的包括能源、环保、运输、医药、食品、化工、生物工程等广阔的领域中，株式会社ULVAC以设备生产为中心，提供先进的真空技术产品，优质完善的服务，不断满足顾客的需求。

　　这次成立联合实验室，双方运用中科院微电子所拥有的微电子器件有关的技术和爱发科集团拥有的与真空镀膜设备及工艺技术有关的技术，在MEMS、存储器、功率器件及传感器领域，针对开发主题共同实施开发，互相协助力求其实用化。双方一致认为，双方具有非常强的优势互补关系，是充分发挥双方各自特长、实现产学研无缝对接、可同时满足核心技术研究和产业化需要的最佳途径。双方将成立联合实验室，在资源共享、技术开发、人才交流与培训等方面进行深入合作，以支持和推动在相关核心技术方面的研究和积累。联合实验室将成为双方合作的窗口和新技术科研成果的实验基地。