关注公众号

关注公众号

手机扫码查看

手机查看

喜欢作者

打赏方式

微信支付微信支付
支付宝支付支付宝支付
×

日研发只对有毒含氟气体做出反应的检漏仪

2016.9.08

  日本产综研开发出了能够有选择地以高灵敏度(1分钟内2ppm)检测出半导体制造工艺中用到的含氟蚀刻气体的检测剂,并且试制出了使用这种检测剂的小型检漏仪。这种检测剂还可以用来检测更高性能的新一代含氟蚀刻气体和其他含卤素气体,作为只对可能危害人体的气体成分做出反应的检漏技术,有望得到广泛应用。


推荐
关闭