随着对LED需求的增加,牛津仪器等离子技术在高亮度LED制造业发挥着越来越重要的地位。位于德国Landshut
市的Optogan集团，作为LED制造业的领先者已向牛津仪器订购多套刻蚀及沉积的复合设备，包括PlasmaProTM System133 ICP 和
PlasmaPro 800Plus RIE etch systems, 还有PlasmaPro 800Plus deposition system。

　　该PlasmaPro System133可以处理高达27 x 2" 的氮化镓蓝宝石晶片并具有大规模批处理能力，同时PlasmaPro
800Plus具有最大的灵活性来处理43 x 2" 晶片上进行等离子体刻蚀和沉积的问题，采用紧凑型、开放式样品加载系统。

　　为了全球性的应用(包括固态照明), Optogan集团正在开发和生产高亮度LED,并采购上述设备,安装在位于Landshut
市高产量的生产线上。