SJ 3248-1989
重掺砷化镓和磷化铟载流子浓度的红外反射测试方法
Methods for measuring carrier concentration of readded Gallium arsenide and Indium phosphide by infra-red reflection
- 标准号
- SJ 3248-1989
- 发布
- 1989年
- 发布单位
- 行业标准-电子
- 当前最新
- SJ 3248-1989
- 适用范围
- 本标准规定了红外反射法测量重掺砷化镓和磷化铟载流子浓度的测量原理，仪器设备、样品制备、测量步骤。结果计算和精度等。 本标准适用于测量重掺砷化镓和磷化锢单晶载流子浓度，也适用于测量外延层的载流子浓度。
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