SJ/Z 3206.13-1989
半导体材料发射光谱分析方法通则
General rules for emision spectrum analysis for semiconductor materials
2010-02
- 标准号
- SJ/Z 3206.13-1989
- 发布
- 1989年
- 发布单位
- 行业标准-电子
- 当前最新
- SJ/Z 3206.13-1989
- 适用范围
- 本标准适用于锗、硅、砷化镓、磷化铟和锑化铟等半导体材料发射光谱分析方法的一般通则，其内容包括基本原理、仪器、标准溶液配制、样品处理方法、摄谱条件的选择、以及有关的一般规定。