GB/T 14142-2017
硅外延层晶体完整性检验方法 腐蚀法

Test method for crystallographic perfection of epitaxial layers in silicon—Etching technique


 

 

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标准号
GB/T 14142-2017
发布日期
2017-09-29 00:00:00.0
实施日期
2018-04-01 00:00:00.0
废止日期
中国标准分类号
H25
国际标准分类号
77.040
发布单位
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

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