GB/T 37049-2018
电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法

Test method for the content of metal impurity in electronic grade polysilicon—Inductively coupled-plasma mass spectrometry method

GBT37049-2018, GB37049-2018


 

 

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标准号
GB/T 37049-2018
别名
GBT37049-2018, GB37049-2018
发布
2018年
发布单位
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
当前最新
GB/T 37049-2018
 
 

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