前言电子级多晶硅金属杂质含量是评价其产品质量的重要指标之一,其杂质含量的高低直接影响下游晶圆制造产品质量,所以对其金属杂质含量的控制至关重要。本实验参照《GB∕T 37049-2018 电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法》,采用LabMS 3000s ICP-MS测试电子级多晶硅中基体金属杂质含量。...
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/[70]富勒烯纯度的测定 高效液相色谱法 土壤、水系沉积物 碘、溴含量的测定 半熔-电感耦合等离子体质谱法 铬铒共掺钇钪镓石榴石晶体光学及激光性能测量方法 金属及其他无机覆盖层 热障涂层耐热循环与热冲击性能测试方法 金属及其他无机覆盖层 温度梯度下热障涂层热循环试验方法 锆化合物化学分析方法 钙、铪、钛、钠、铁、铬、镉、锌、锰、铜、镍、铅含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法 氮化铝材料中痕量元素...
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