氦质谱检漏仪的型号较多，但基本结构大同小异。它主要由质谱室、真空系统及电气部分组成。一、质谱室不同类型的氦质谱检漏仪的质谱室结构大同小异，都是由离子源、分析器和收集器三部分组成，它们放在一个抽成高真空的质谱室外壳中，如图2所示。 图2 质谱室1、离子源离子源的作用是使气体分子电离，形成一束具有一定能量的离子。其结构如图3所示。它由灯丝（阴级）、离化室及离子加速极组成。 ...
氦质谱检漏仪的型号较多，但基本结构大同小异。它主要由质谱室、真空系统及电气部分组成。一、质谱室不同类型的氦质谱检漏仪的质谱室结构大同小异，都是由离子源、分析器和收集器三部分组成，它们放在一个抽成高真空的质谱室外壳中，如图2所示。 图2 质谱室1、离子源离子源的作用是使气体分子电离，形成一束具有一定能量的离子。其结构如图3所示。它由灯丝（阴级）、离化室及离子加速极组成。 ...
其实各个种类的质谱仪都可用来作为检漏质谱仪，只是出于成本和灵敏度的考虑，更多的用的是四极杆质谱检漏仪。...
逆流氦质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局, 被检件置于检漏仪主抽泵的前级部位,因此具有可在高压力下检漏、不用液氮及质谱室污染小等特点,适用于大漏率、真空卫生较差的真空系统的检漏,其灵敏度可达10E-12Pam3/s。 单级磁偏转型氦质谱检漏仪工作原理与结构 氦质谱检漏仪由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。...
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