ISO 14644-1:1999
洁净室和相关控制环境 第1部分:空气洁净度分级
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 1: Classification of air cleanliness
- 标准号
- ISO 14644-1:1999
- 发布
- 1999年
- 中文版
- GB/T 25915.1-2010 (等同采用的中文版本)
- 发布单位
- 国际标准化组织
- 替代标准
- ISO 14644-1:2015
- 当前最新
- ISO 14644-1:2015
- 适用范围
- ISO 14644 的这一部分涵盖了洁净室和相关受控环境中空气洁净度的分类，仅根据空气中颗粒的浓度进行分类。 仅考虑具有基于 0.1 μm 至 5 μm 范围内的阈值（下限）尺寸的累积分布的颗粒群来进行分类。 ISO 14644 的这一部分没有规定对超出指定粒径范围（0.1 μm 至 5 μm）的颗粒群进行分类。 超细颗粒（小于 0.1 μm 的颗粒）和大颗粒（大于 5 μm 的颗粒）的浓度可分别用于根据 U 描述符和 M 描述符来量化这些群体。 ISO 14644 的这一部分不能用于表征空气中颗粒的物理、化学、放射性或活性性质。 注：颗粒浓度在增量尺寸范围内的实际分布通常是不可预测的，并且通常会随时间变化。
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