GB/T 20175-2006
表面化学分析.溅射深度剖析.用层状膜系为参考物质的优化方法

Surface chemical analysis.Sputter depth profiling.Optimization using layered systems as reference materials

GBT20175-2006, GB20175-2006


标准号
GB/T 20175-2006
别名
GBT20175-2006, GB20175-2006
发布
2006年
采用标准
ISO 14606:2000 IDT
发布单位
国家质检总局
当前最新
GB/T 20175-2006
 
 
适用范围
为使俄歇电子能谱、X射线光电子能谱和二次离子质谱的仪器设定达到深度分辨的优化目的,本标准采用适当的单层和多层膜系参考物质,提供优化溅射深度剖析参数的指南。 特殊多层膜系(如各种掺杂层膜系)的使用不包括在本标准内。

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