GB/T 20176-2006
表面化学分析.二次离子质谱.用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度
Surface chemical analysis.Secondary-ion mass spectrometry.Determination of boron atomic concentration in silicon using uniformly doped materials
GBT20176-2006, GB20176-2006
- 标准号
- GB/T 20176-2006
- 别名
- GBT20176-2006, GB20176-2006
- 发布
- 2006年
- 采用标准
- ISO 14237:2000 IDT
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 20176-2006
- 引用标准
- ISO 5725-2:1994
- 适用范围
- 本标准详细说明了用标定的均匀掺杂物质（用注入硼的参考物质校准）确定单晶硅中硼的原子浓度的二次离子质谱方法。它适用于均匀掺杂硼浓度范围从1×1016atoms/cm3～1×1020atoms/cm3。
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