GB/T 8758-2006
砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法
Measuring thickness of epitaxial layers of gallium arsenide by infrared interference
GBT8758-2006, GB8758-2006
- 标准号
- GB/T 8758-2006
- 别名
- GBT8758-2006, GB8758-2006
- 发布
- 2006年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 8758-2006
- 被代替标准
- GB/T 8758-1988
- 适用范围
- 本标准适用于砷化镓外延层厚度的测量，测量厚度大于2μm。要求衬底材料的电阴率小于0.02Ω•cm，外延层的电阴率大于0.1Ω•cm。
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