GB/T 20307-2006
纳米级长度的扫描电镜测量方法通则

General rules for nanometer-scale length measurement by SEM

GBT20307-2006, GB20307-2006


标准号
GB/T 20307-2006
别名
GBT20307-2006, GB20307-2006
发布
2006年
发布单位
国家质检总局
当前最新
GB/T 20307-2006
 
 
引用标准
JJF 1059-1999
适用范围
本标准规定了用扫描电镜测量纳米级长度的基本原则。适用于测量10nm~500nm的点或线的间距。

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