GB/T 24574-2009
硅单晶中Ⅲ-Ⅴ族杂质的光致发光测试方法
Test methods for photolumininescence analysis of single crystal silicon for Ⅲ-Ⅴ impurities
GBT24574-2009, GB24574-2009
- 标准号
- GB/T 24574-2009
- 别名
- GBT24574-2009, GB24574-2009
- 发布
- 2009年
- 采用标准
- SEMI MF 1389-0704 MOD
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 24574-2009
- 引用标准
- GB/T 13389 GB/T 24581
- 适用范围
- 本标准规定了硅单晶中Ⅲ-Ⅴ族杂质的光致发光测试方法。
本标准适用于低位错单晶硅中导电性杂质硼和磷含量的同时测定。
本标准用于检测单晶硅中含量为1×lO
at•cm ～5×10 at•cm 的各种电活性杂质元素。