GB/T 14601-2009
电子工业用气体.氨
Gas for electronic industry.Ammonia
GBT14601-2009, GB14601-2009
- 标准号
- GB/T 14601-2009
- 别名
- GBT14601-2009, GB14601-2009
- 发布
- 2009年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 14601-2009
- 引用标准
- GB 14193-2009 GB 190-2009 GB 7144-1999 GB/T 3723-1999 压力容器安全技术监察规程 气瓶安全监察规程
- 被代替标准
- GB/T 14601-1993
- 适用范围
- 本标准规定了氨的技术要求，试验方法以及产品的包装、标志、运输、贮存及安全要求。 本标准适用于半导体工业，氮化硅、氮化镓的化学气相淀积，也可用于硅或氧化硅的氮化。