美国FSM高温薄膜应力及翘曲度测量仪特殊功能优点:1、完全封闭的设计,温度更稳定。2、特殊的设计使震动偏移降到较低。3、图形式使用界面更容易使用。4、当改变弹性模数,晶圆或薄膜厚度设备会自动重新计算应力保存数据文档。5、可以计算双轴弹性模量和线膨胀系数。6、可以计算应力的均匀性。7、可以输出数据到Excel ,提供给SPC 分析。8、多重导向销设计,手动装载样品,有优异的重复性与再现性研究。...
表面形貌测量仪应用在手机外壳的检测 表面形貌测量仪是一种非接触式光学3D轮廓仪,具有测量薄膜和厚膜的功能。除提供尺寸和粗糙度测量功能,还可以提供两种类型的膜厚测量,测量较薄的涂层被证实为难度更高。 采用这种新型方法,可以在单次测量中研究膜厚、界面粗糙度、针孔缺陷以及薄涂层表面的剥离等特性。...
相关应用:粗糙度测量;三维形貌表征;台阶高度测量探针式表面轮廓仪 台阶仪P-7可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量,其扫描可达150mm而无需图像拼接。相关应用:表面结构分析;蚀刻深度测量;柔性薄膜;薄膜/厚膜台阶;光阻/光刻胶台阶;薄膜的2D stress量测;表面的3D轮廓成像;缺陷表征和缺陷分析;表面粗糙度/平整度表征;表面曲率和轮廓分析。...
02半导体量检测设备晶诺微的半导体量测设备包括光学薄膜测量设备 QUASAR S 系列和晶圆厚度及翘曲度测量设备ZMET,检测设备包括缺陷检测设备PULSAR系列。QUASAR S系列应用于集成电路芯片制造生产线上的光学膜厚测量设备,适用于6、8、12吋生产线,产品技术成熟,测量精度高,测量速度快,技术上已达到或超越国际同类竞争产品水平,可实现纳米级厚度测量。...
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