GB/T 25915.8-2010
洁净室及相关受控环境 第8部分：空气分子污染分级
Cleanrooms and associated controlled environments.Part 8:Classification of airborne molecular contamination
GBT25915.8-2010, GB25915.8-2010
- 标准号
- GB/T 25915.8-2010
- 别名
- GBT25915.8-2010, GB25915.8-2010
- 发布
- 2011年
- 采用标准
- ISO 14644-8:2006 IDT
- 发布单位
- 国家质检总局
- 替代标准
- GB/T 25915.8-2021
- 当前最新
- GB/T 25915.8-2021
- 引用标准
- GB/T 25915.6
- 适用范围
- GB/T 25915的本部分依据洁净室及相关受控环境空气中具体化学物质(种、组、类)的浓度,对空气分子污染(AMC)进行分级。同时,本部分在分级技术要求中,给出了包括检测方法、分析方法和时间加权系数的规程。 本部分目前只考虑洁净室运行工况下100g/m3～10-12g/m3的AMC浓度。 本部分不涉及那些虽有空气分子物质存在、但不认为对产品或工艺有风险的行业、工艺和生产。 本部分无意探讨空气分子污染物的特性。 本部分不包含对表面分子污染的分级。
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