GB/T 28276-2012
硅基MEMS制造技术.体硅溶片工艺规范

Silicon-based MEMS fabrication technology.Specification for dissolved wafer process

GBT28276-2012, GB28276-2012


标准号
GB/T 28276-2012
别名
GBT28276-2012, GB28276-2012
发布
2012年
发布单位
国家质检总局
当前最新
GB/T 28276-2012
 
 
引用标准
GB 50073-2001 GB/T 19022-2003 GB/T 26111-2010
适用范围
本标准规定了采用体硅深片加工工艺进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和工艺评价规范。 本标准适用于体硅溶片工艺的加工和质量检验。

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