扫描探针显微镜和扫描探针显微镜的光轴调整方法。提供能够使用配置于扫描探针显微镜的物镜来自动地进行光杠杆的光轴调整的扫描探针显微镜和其光轴调整方法。...
扫描探针显微镜和扫描方法,其能减小或避免因探针尖与样品碰撞而造成的损害,缩短测量时间,提高生产力和测量精确度,不受粘附水层的影响收集样品表面的观测数据,如形貌数据。显微镜具有振动探针尖的振动单元、探针尖与样品表面接近或接触时收集观测数据的观测单元、探针尖与样品表面接近或接触时检测探针尖振动状态变化的检测单元和控制探针尖在平行于样品表面的X和Y方向上及在垂直于样品表面的Z方向上移动的控制单元。...
Copyright ©2007-2022 ANTPEDIA, All Rights Reserved
京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证:京ICP证110310号