GB/T 17359-2012
微束分析.能谱法定量分析

Microbeam analysis.Quantitative analysis using energy dispersive spectrometry

GBT17359-2012, GB17359-2012

2024-07

标准号
GB/T 17359-2012
别名
GBT17359-2012, GB17359-2012
发布
2012年
采用标准
ISO 22309:2006 IDT
发布单位
国家质检总局
替代标准
GB/T 17359-2023
当前最新
GB/T 17359-2023
 
 
引用标准
GB/T 20726-2006 GB/T 27025-2008 ISO 14594 ISO 16700:2004
被代替标准
GB/T 17359-1998
适用范围
本标准规定了用安装在扫描电镜(SEM)或电子探针(EPMA)上的能谱仪对试样上特定点或特定区域进行定量分析的方法。定量分析是指用质量分数(或百分数)表示元素的含量。正确鉴别试样中所有元素是定量分析中必不可少的组成部分,因此,本标准也包含这方面的内容。本标准提供了多种能谱法定量分析方法,本标准适用于利用参考物质或“无标样”程序对质量分数高于1%的元素进行定量分析。本标准对原子序数大于10的元素的分析置信度更高。 本标准也规定了对原子序数小于11的轻元素的分析方法。 目前没有公认的轻元素的准确能谱仪(EDS)定量分析方法,以下是几种常用于轻元素分析的EDS方法: a) 测量峰面积并对比峰强度。如附录D中所述的原因,这种方法对轻元素分析结果的不确定度比重元素大。 b) 当已知试样中的轻元素以化学计量的方式与重元素(Z>10)结合时,该轻元素的浓度可以通过其他元素的相关浓度比进行测定。这种方法通常用于硅酸盐矿物试样中氧的测定。 c) 通过差值法计算浓度,即用100%减去能够分析元素的总百分数即为轻元素的百分数。这种方法只有在很好的束流稳定性和单独测量至少一个参考 样品的条件下才能够应用,并且还需要精确测定样品中的其他元素。 附录D总结了重元素存在时轻元素定量分析中的问题。如果仪器上安装了能谱仪和波谱仪(WDS),可以用WDS来克服EDS分析中的低能量谱峰重叠问题。

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