GB 50809-2012
硅集成电路芯片工厂设计规范

Code for design of silicon integrated circuits wafer fab


标准号
GB 50809-2012
发布
2012年
发布单位
国家质检总局
当前最新
GB 50809-2012
 
 
引用标准
GB 12348 GB 13271 GB 13690 GB 16297 GB 50016 GB 50019 GB 50052 GB 50058 GB 50073 GB 50116 GB 50222 GB 50223 GB 50472 GB 50611 GB 50646 GB 50781 GB/T 12190 GBJ 87
适用范围
本规范适用于新建、改建和扩建的硅集成电路芯片工厂的工程设计。

GB 50809-2012相似标准


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GB 50809-2012 中可能用到的仪器设备





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