GB/T 29557-2013
表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量

Surface chemical analysis.Depth Profiling.Measurment of sputtered depth

GBT29557-2013, GB29557-2013


标准号
GB/T 29557-2013
别名
GBT29557-2013, GB29557-2013
发布
2013年
采用标准
ISO/TR 15969:2001 IDT
发布单位
国家质检总局
当前最新
GB/T 29557-2013
 
 
适用范围
本标准规定了溅射深度剖析中测量溅射深度的准则。本标准适用于结合离子轰击剥离部分固体样品的表面化学分析技术,通常溅射深度可达几微米。

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