因此,波谱仪是通过机械装置的运动改变距离L来实现成分分析。但波谱仪对分析条件要求苛刻,如电子束流要大于0.1μA,样品要求非常平整并且只能水平放置,准确的成分定量分析还需要相关的标准样品并在相同工作条件下作对比分析,对主机的稳定度也要求极高,操作方面也较为复杂,工作效率很低,但分析精度方面比能谱仪精度更高,可以做成分的定量分析。...
因此能谱仪的检测效率较高。 ②空间分析能力:能谱仪因检测效率高,可在较小的电子束流下工作,使束斑直径减小,空间分析能力提高。目前,在分析电镜中的微束操作方式下能谱仪分析的最小微区已经达到纳米数量级,而波谱仪的空间分辨率仅处于微米数量级。 ③分辨本领:能谱仪的最佳能量分辨本领为149eV,波谱仪的波长分辨本领表述为能量的形式后相当于5-10eV,可见波谱仪的分辨本领比能谱仪高一个数量级。 ...
目前,在分析电镜中的微束操作方式下能谱仪分析的最小微区已经达到纳米数量级,而波谱仪的空间分辨率仅处于微米数量级。分析速度能谱仪可在同一时间内对分析点内的所有X射线光子的能量进行检测和计数,仅需几分钟时间可得到全谱定性分析结果;波谱仪只能逐个测定每一元素的特征波长,一次全分析往往需要几个小时。...
几乎所有的扫描电子显微镜(REM)都配备有能谱仪,而我们不仅有能谱仪,还有波谱仪,因此有两种物理分析手段:能谱电子探针微分析(ED-ESMA)和波谱电子探针微分析(WD-ESMA)。通过X 射线光谱可以很精确地推算出材料中近表面的分析体积的元素主、副以及微量的成分。...
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