GB/T 29852-2013
光伏电池用硅材料中P、As、Sb施主杂质含量的二次离子质谱测量方法
Test method for measuring phosphorus, arsenic and antimony in silicon materials used for photovoltaic applications by secondary ion mass spectrometry
GBT29852-2013, GB29852-2013
- 标准号
- GB/T 29852-2013
- 别名
- GBT29852-2013, GB29852-2013
- 发布
- 2013年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 29852-2013
- 适用范围
- 本标准规定了用二次离子质谱仪(SIMS)测定光伏电池用硅材料中磷、砷和锑含量的方法。本标准适用于光伏电池用硅材料中施主杂质磷、砷和锑含量的定量分析,其中磷、砷和锑的浓度均大于 1×1014atoms/cm3。
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