国产中小型直联旋片泵在技术上已经过关,价格又远比国外的泵便宜,所以国产泵仍然有竞争优势,关键是要解决轴封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能质量问题,确保直联泵在高速、高温下性能稳定和运行可靠,同时还要进一步提高国产直联旋片泵抽除水蒸气的能力。...
2XZ小型旋片真空泵使用范围。1、该泵是直联高效力油浸式机械真空泵,是用来对密封容器抽除气体获得真空真空环境的基本设备。它可以单独直接使用,也可用作罗茨泵、扩散泵、分子泵的前级泵和预抽泵,组成真空机组共同对容器抽气,达到超高真空的目的。...
2XZ型旋片式真空泵用途和使用范围:1、该泵是直联力油浸式机械真空泵,是用来对密封容器抽除气体获得真空真空环境的基本设备。它可以单独直接使用,也可用作罗茨泵、扩散泵、分子泵的前级泵和预抽泵,组成真空机组共同对容器抽气,达到超高真空的目的。...
国产中小型直联旋片泵在技术上已经过关,价格又远比国外的泵便宜,所以国产泵仍然有竞争优势,关键是要解决轴封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能质量问题,确保直联泵在高速、高温下性能稳定和运行可靠,同时还要进一步提高国产直联旋片泵抽除水蒸气的能力。 分子泵 分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。...
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