如何提高TOF-SIMS灵敏度

上一篇 / 下一篇  2014-04-21 10:09:20

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TOF采用pulse 一次离子束模式，如何提高TOF的灵敏度，可从以下几个方面考虑：
 
1. 采用大的一次离子入射剂量，以产生更多的溅射离子
2. 采用合适的一次离子入射能量
3. 采用合适的入射角
 
以上三个方面是从增加溅射产额方面考虑的，就是开源，在节流方面：
 
1. 增加溅射原子的离化率，引入适当的后离化技术
2.设置合适的二次离子提取场，以及合理的检测接收角
3. 改善二次离子的传输效率
4. 提高二次离子的检测效率
 
就是从开源节流方面，来提高TOF的灵敏度

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  • 更新时间: 2014-04-21

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