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ICP光源的气流 ICP光源自问世以来主要是在氩气氛中工作的,三股气流所起的作用各不相同,它们分别是: 1) 冷却气:沿切线方向引入外管,它主要起冷却作用,保护石英炬管免被高温所熔化,使等离子体的外表面冷却并与管壁保持一定的...
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