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• KRI 考夫曼射频离子源 RFICP220 溅射沉积 ZnNi 合金薄膜

  hakuto 发表于 2021-03-10 15:48:32

  沈阳某大学课题组采用伯东 KRI 考夫曼射频离子源 RFCIP220 射频磁控溅射沉积方法制备了不同成分的 ZnNi 合金薄膜, 并研究了真空热处理对其成分及表面形貌的影响. 采用 ...

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