红外光谱法测硅片的碳含量GBT 1958-1997

上一篇 / 下一篇  2009-09-20 11:34:03/ 个人分类:光谱

  • 文件版本: V1.0
  • 开发商: 来源网络
  • 文件来源: 本地
  • 界面语言: 简体中文
  • 授权方式: 免费
  • 运行平台: Win9X/Win2000/WinXP
硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法
1997-12-22发布,1998-08-01实施
国家技术监督局发布
标准中国有色金属工业总公司提出,由中国有色金属工业总公司标准计量研究所归口。
由峨嵋半导体材料厂负责起草。

本标准规定了硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法
适用于载流子浓度小于5×10e16 cm-3,室温电阻率大于0.1 欧.cm的硅单晶中代位碳原子浓度的测定。由于碳也可能存在于间隙未知,因而本方法不能测定总碳浓度。
本标准也适用于硅多晶中代位碳原子浓度的测定。其晶粒界间的碳同样不能测定。







下载提示:

1.您还没有登录,只有登录后才可以下载此资源, ,
2.如果您还没有注册,请
3.下载减少用户积分。

本地下载链接

TAG: 半导体国标红外

 

评分:0

我来说两句

显示全部

:loveliness::handshake:victory::funk::time::kiss::call::hug::lol:'(:Q:L;P:$:P:o:@:D:(:)

我的栏目

日历

« 2024-05-05  
   1234
567891011
12131415161718
19202122232425
262728293031 

我的存档

数据统计

  • 访问量: 11782
  • 日志数: 9
  • 文件数: 55
  • 建立时间: 2009-09-20
  • 更新时间: 2009-09-20

RSS订阅

Open Toolbar