分享：显微镜分类，特点及基本应用

上一篇 / 下一篇 2010-06-18 09:29:13

名称	检测信号	样品	分辨率/nm	基本应用
透射电子显微镜（TEM）	透射电子和衍射电子	薄膜和复型膜	点分辨率0.3~0.5, 晶格分辨率0.1~0.2	1形貌分析：显微组织、晶体缺陷 2晶体结构分析； 3成分分析（配附件）
扫描电子显微镜（SEM）	二次电子、背散射电子、吸收电子	固体	6~10	1形貌分析：显微组织、断口形貌；2成分分析（配附件）； 3结构分析（配附件）； 4断裂过程动态研究
扫描隧道显微镜（STM）	隧道电流	固体（有一定导电性）	原子级垂直0.01，横向0.1	1表面形貌与结构：表面原子三维轮廓； 2表面力学行为、表面物理化学研究
原子力显微镜（AFM）	隧道电流	固体（导体、半导体、绝缘体）	原子级	1表面形貌与结构分析； 2表面原子间力与表面力学性质的测定
场发射显微镜（FEM）	场发射电子	针尖状（电极）	2	1晶面结构分析； 2晶面吸附、脱附和扩散等分析
场离子显微镜（FIM）	正离子	针尖状（电极）	当尖半径为100nm时室温0.55 低温0.15	1形貌分析：直接观察原子组态；2表面重构、扩散等分析