使用XRF-1800进行的膜厚测定、薄膜测定实例，测定高分子薄膜的膜厚与无机成分分析的背景基本参数(BG-FP)法，利用康普顿散射/瑞利散射的强度比计算出荧光X射线分析不能得到的氢（H）元素的信息。高分子薄膜分析中，利用康普顿散射线的理论强度作为高分子薄膜的信息。