飞行时间二次离子质谱 TOFSIMS原理

什么是飞行时间二次离子质谱？

TOFSIMS飞行时间二次离子质谱（TOF-SIMS，Time of Flight Secondary Ion Mass Spectrometry）是一种具有极高分辨率和极高灵敏度的分析手段。利用一次离子激发样品表面，打出极其微量的二次离子。不同的二次离子因具有不同的质荷比，从而到达到探测器的时间也各不同，通过测量不同时间内到达检测器的的离子信号强度，来测定样品的成分。