日本电子发布分辨率达63pm的新一代球差校正透射电镜JEM-ARM300F

近日，日本电子株式会社（JEOL）全球同步发布了终极分辨率的新一代球差校正透射电镜JEM-ARM300F,把商业化的透射电镜推向了一个新极限。

2009年，JEOL推出了最高加速电压200kV的球差校正透射电镜JEM-ARM200F,在全世界大获成功，把人类认识微观世界的能力向前推进了一大步。随着球差校正透射电镜在全世界的普及和市场需求的不断变化，JEOL总结了JEM-ARM200F的成功经验，并开发出了自己的12极球差校正器，加装在新一代球差校正透射电镜JEM-ARM300F上。不但大幅度提高分辨率，而且对样品的分析能力、原位观察能力、球差校正的操作方便性等都有飞跃性的提升。

JEM-ARM300F标配日本电子的12极球差校正器、高亮度冷场发射电子枪，TEM的保证分辨率为0.05nm, STEM HAADF的保证分辨率为0.063nm。2014年5月开始正式接受订单。

透射电镜一直以来是材料研发当中进行微观结构分析的重要工具。然而，随着纳米级或原子水平的先进材料的研发，针对这类材料的合成研究越来越需要高分辨率的成像和分析技术。

为了满足这种需求，日本电子一直聚焦于推出带有球差校正器的透射电镜技术来超越目前的分辨率极限。在2009年，日本电子推出了JEM-ARM200F，200kV的透射电镜，采用了球差校正技术，分辨率达到了80pm(STEM成像)，这是首台达到如此高的分辨率的商品化电镜。为达到原子分辨率水平，JEM-ARM200F整合各种功能来确保高度稳定的性能。目前，已有超过100台ARM200F安装在世界各地，许多研究人员对于电镜原子水平的成像和分析非常熟悉。

同时，随着像差校正的广泛应用，用户对于透射电镜又涌现出各种各样新的需求，除了高分辨率，还有高分析灵敏度、原位分析、灵活的加速电压控制，和像差校正的易操作性。

因而，JEOL研发了JEM-ARM300F，可以说是JEM-ARM200F的升级版，300kV的原子分辨率透射电镜，采用日本电子自己的像差校正技术。JEM-ARM300F的又被称作“GRAND ARM”，分辨率可达63pm(STEM分辨率)。GRAND ARM可以根据用户的需求用于超高分辨率成像，或高灵敏度的分析应用，以及原位分析。

该仪器主要的目标用户是研究机构或半导体制造商。