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Carl Zeiss的新透射电镜LIBRA 200 CS-TEM/STEM

发布: 2010-07-08 10:47:56来源: 卡尔蔡司(上海)管理有限公司

Carl Zeiss是电子和离子束成像的领导者,今天它来展示新的LIBRA200透射电子显微镜。

该款电镜有两种配置:LIBRA 200 CS TEM以能量过滤型200KV LIBRA TEM为基础,做了物镜透镜的球差校正。通过使用校正器,可以采集分辨率0.7A的图像。许多应用将会得益于这个设计,尤其是半导体或太阳能电池的成像,铜铁合金晶界、核辐射对屏蔽材料造成的损坏等都能检测。在这些应用领域中,对于深度理解原子级别材料控制内含的物理或化学过程非常必要,同时还能确保设备中的功能性。CS校正器的另一个优势是当把加速电压减到80KV时,分辨率还低于1A。光束的损伤因此可以减少,这样就可以分析碳化纳米管等敏感材料了。

LIBRA 200 STEM具有为聚光镜配备的校正器,可以用于在扫描模式下对分辨率远远低于1A和极高分辨率下样品化学分析的成像,尤其是EELS。校正后聚光镜允许探针尺寸减小到1A,同时增大强度。此外,独特的单色仪把能量扩散减小到0.15eV。这对于材料科学的基础研究尤其有利(尤其是纳米颗粒的化学分析)。

“在一些主要研究点,我们已经为用户安装了设备,那儿可以展示0.66A的分辨率。用户的反应非常好”,Carl Zeiss SMT 纳米科技部门的产品经理Thomas Albrecht说,“我们用校正后的透射电镜做了很多测试。现在我们利用这一经历提供给市场超棒的技术 ,这一策略和我们的使命相符合:最大化信息,最大化洞察。”

校正器由海德堡的CEOS GmbH公司开发生产,这是一家电子光学校正器专业制造商,和蔡司合作已久。

原文链接:http://www.smt.zeiss.com


厂家名称

蔡司半导体仪器事业部下属的纳米技术系统部(The Nano Technology Systems Division of Carl Zeiss SMT)立志为客户提供最新的、最尖端的电子束技术。走进纳米技术系统部,展现在您眼前的是我们积累...

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